微纳加工中心位于闵行校区物理楼一楼洁净室🔅，包含百级和千级两个洁净区域。目前中心已经具备低至50nm图形加工和多种类高质量薄膜制备能力，同时在微纳材料及器件的电学👨🦰、光学和磁学方面拥有全面表征服务能力。中心具有强大的技术支持专家团队，可以为物理、电子、化学、生命等学科发展提供微纳器件制备及表征方面的科研服务支撑，为校内外师生及科研院所研究人员提供自主上机或送样加工测试服务。
中心联系人：
钟老师🧝♀️，我要投稿
微纳加工中心位于闵行校区物理楼一楼洁净室🔅，包含百级和千级两个洁净区域。目前中心已经具备低至50nm图形加工和多种类高质量薄膜制备能力，同时在微纳材料及器件的电学👨🦰、光学和磁学方面拥有全面表征服务能力。中心具有强大的技术支持专家团队，可以为物理、电子、化学、生命等学科发展提供微纳器件制备及表征方面的科研服务支撑，为校内外师生及科研院所研究人员提供自主上机或送样加工测试服务。
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